减少半导体制造设备占地面积的小型多轴驱动器引进案例

问题：希望在增加电动机轴数的同时实现装置小型化

在半导体制造过程中，为了应对微细化和多层化，装置的使用数量正在增加。同时，装置的安装空间有限，因此需要实现生产效率的提高，即装置整体足迹的减少。AZ系列多轴驱动器紧凑型能够控制4个电动机轴，同时相比现有的多轴驱动器，可以实现大幅度的空间节省。

传统的1轴驱动器需要4台占据宽度180mm的空间，即使是现有的多轴驱动器也需要147mm的空间。
AZ系列多轴驱动器紧凑型只需60mm的空间，与1轴驱动器相比，可以实现约66％的空间节省。驱动器的安装空间的大幅压缩有助于减少足迹，并实现装置的整体小型化。

AZ系列多轴驱动器紧凑型支持EtherCAT、MECHATROLINK-III、SSCNETIII/H等网络协议。由于一台驱动器可以控制多个轴，因此可以在电控柜内节省配线。

AZ系列多轴驱动器瘦身型产品可以驱动AZ系列 DC电源输入的电动机以及搭载它们的电动传动装置。如果要在多轴中使用安装尺寸42mm以下的电动机，请首先考虑瘦身型。

我们分别准备了支持EtherCAT、MECHATROLINK-III、SSCNETIII/H的产品。

AZ系列 DC电源输入
安装尺寸 □20mm、□28mm、□42mm

除了产品咨询外，还承接课题咨询、资料和样品提供等，任何问题都欢迎咨询。

面向量产设备处理电动机的用户。包含转矩特性、振动/发热对策等技术解说，以及我司产品阵容、定制信息、采用优势等专业知识，一册在手。是装置研发和设计必备的参考资料。