搭载真空对应解析器传感器的AR系列真空型开发
2011年6月24日时的信息。
在半导体制造设备、FPD制造设备、各种分析设备中，由于要求在真空中进行高精度的定位控制，因此广泛使用真空用步进电动机。然而，通常的真空用步进电动机采用开环控制，因此在封闭的真空容器内，即使由于过载等原因发生位置偏移，也无法察觉。为了解决这个问题并进一步提高可靠性，我们开发了搭载东方马达公司独特反馈控制技术的AR系列真空型。该电动机配备真空对应传感器，可在高真空（10-1～10-5Pa）环境下使用。此外，通过电动机的低损耗化和驱动器的全新电流控制方式，实现了大幅的发热减少。可以实现运行生产周期时间的提高和产生气体排放的减少。
1. 引言
在半导体制造设备、FPD制造设备、各种分析设备中，由于要求在真空中进行高精度的定位控制，因此使用真空用步进电动机。然而，由于传统的真空用步进电动机采用开环控制，即使由于过载等原因在封闭的真空容器内发生位置偏移，也无法察觉。为了解决这个问题并进一步提高可靠性，我们开发了搭载东方马达公司独特反馈控制技术的AR系列真空型。
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